半導體光電探測器是利用半導體材料的光電效應來接收和探測光信號的器件，它通過吸收光子產(chǎn)生電子-空穴對，從而在外電路產(chǎn)生與入射光強度成正比的光電流以方便測量入射光。半導體光電探測器由于體積小，重量輕，響應速度快，靈敏度高，易于與其它半導體器件集成，是光源 的最理想探測器，可廣泛用于光通信、信號處理、傳感系統(tǒng)和測量系統(tǒng)。
a．響應率：光電探測器的相應率用以表征探測器將入射光信號轉(zhuǎn)換為電信號的能力。
b．量子效率：光電探測器的量子效率 定義為一個入射光子照在器件上并產(chǎn)生一個對探測器電流有貢獻的光電載流子對的幾率。探測器的效率越高越好。
c．噪聲等效功率：在實際的光電探測系統(tǒng)中，即使在探測器不加任何輻射信號時，探測器仍有一定的輸出，這就時探測器本身存在的噪聲。這種噪聲的存在限制了探測器對微弱光信號的探測能力，即探測器能探測到的最小入射光功率受到限制。定義，探測器輸出的信號功率與噪聲功率之比為1時，入射到探測器上的信號功率就稱為噪聲等效功率（NEP）或最小可探測功率。NEP越小，探?測性能越好。
d.光譜響應：探測器的光譜響應是指不同波長的光輻射照射到探測器光敏面時，探測器的響應率等特征參量隨光輻射波長變化而變化的特性。通常將響應率下降到峰值的50%處所對應的波長定義為截止波長 。有時也采用響應率降到10%處的波長作為截至波長。
e.響應時間：響應速度是描述探測器對入射輻射響應快慢的一個特性參量。探測器的輸出上升到穩(wěn)定值或下降到照射前的值所需的時間叫做探測器的響應時間（時間常量τ）。
半導體光電探測器又分為光導型和光伏型。光導型是根據(jù)光電導效應制成，即當光入射到半導體材料后，能改變其導電性能，且隨著光強的增加，其導電性能增強。該類型的主要器件有光敏電阻。光伏型是根據(jù)光生伏特效應制成，即當光照射PN結(jié)時，會使PN結(jié)兩端產(chǎn)生電勢差。該類型的主要器件為光敏二極管、光敏晶體管等。
半導體光電探測器由于體積小，重量輕，響應速度快，靈敏度高，易于與其它半導體器件集成，是光源的最理想探測器，可廣泛用于光通信、信號處理、傳感系統(tǒng)和測量系統(tǒng)。例如，光電探測器是是一種新型的紅外探測器，可用在紅外焦平面陣列成像技術(shù)中，這在導彈防御以及重要新型武器系統(tǒng)中起著重要作用（如監(jiān)視、跟蹤、識別、制導等），其成像質(zhì)量優(yōu)于傳統(tǒng)的碲鎘汞探測器。