“成功了！終于成功了！”
一聲聲激動的吶喊聲打破了今年仲夏一個(gè)夜晚的寧靜，與這份寧靜形成強(qiáng)烈對比的，是科研人員內(nèi)心的熾熱。爍科中科信設(shè)備研發(fā)中心的研發(fā)團(tuán)隊(duì)日以繼夜攻關(guān)，困擾已久的高能離子注入機(jī)核心技術(shù)難關(guān)終于實(shí)現(xiàn)突破。
高能離子注入機(jī)是離子注入機(jī)中技術(shù)難度最大的機(jī)型
作為集成電路芯片制造進(jìn)程中的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入機(jī)設(shè)備的研制難度極大，我國研制基礎(chǔ)也較為薄弱。懷揣科技報(bào)國的理想，中國電科的研發(fā)團(tuán)隊(duì)向關(guān)鍵裝備研制不斷發(fā)起挑戰(zhàn)，經(jīng)過艱苦的努力，在成千上萬遍實(shí)驗(yàn)?zāi)M后，相繼實(shí)現(xiàn)了中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及寬禁帶半導(dǎo)體等全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展。
2022年上半年，中國電科CMP設(shè)備可謂捷報(bào)頻傳。200毫米化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備國內(nèi)市場占有率大幅提升，300毫米CMP設(shè)備累計(jì)流片數(shù)萬片，CMP設(shè)備銷售收入、利潤均遠(yuǎn)超去年同期……
CMP是芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備之一，因其高精度、高密集的技術(shù)要求，成為集成電路裝備界的“天花板”。中國電科黨組高度重視CMP研制工作，黨組書記、董事長陳肇雄多次召開專題會議研究推進(jìn)，并勉勵團(tuán)隊(duì)厚植原始創(chuàng)新能力，打好關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)。中國電科團(tuán)隊(duì)勇挑使命，上下同心、合力攻堅(jiān)，在陰晴冷暖、夏蟬冬雪、晨暮交替的時(shí)光片段中，廣灑勠力研發(fā)的辛勤汗水，通過苦研算法、反復(fù)推演、耐心驗(yàn)證，于2017年成功研發(fā)出國內(nèi)首臺擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的200毫米CMP商用機(jī)，經(jīng)嚴(yán)格的“馬拉松”測試，最終上線集成電路大生產(chǎn)線。今年上半年這份沉甸甸的成績單凝聚了中國電科團(tuán)隊(duì)無數(shù)的心血與汗水。
近年來，中國電科積極布局集成電路制造裝備、寬禁帶半導(dǎo)體等一批重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，成效顯著：圍繞支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的電子制造裝備領(lǐng)域、電子功能材料領(lǐng)域，中國電科已形成離子注入機(jī)、CMP等拳頭產(chǎn)品，集成電路關(guān)鍵制造裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、產(chǎn)品系列化步伐明顯加快，關(guān)鍵領(lǐng)域保障能力不斷增強(qiáng)，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平；聚焦半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體應(yīng)用，中國電科連續(xù)攻克數(shù)百項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)，填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白；著力打造本土集成電路和寬禁帶半導(dǎo)體裝備驗(yàn)證平臺，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務(wù)核心競爭力優(yōu)勢不斷提升。
消息來源：eet-china
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