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什么是半導(dǎo)體設(shè)備零部件?

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  • 添加日期:2022年09月13日

隨著科技的快速發(fā)展,各行業(yè)公司發(fā)明了各式各樣的電子電器產(chǎn)品,在產(chǎn)品快速更替的浪潮中,各種產(chǎn)品正在迅速的往體積小型化,功能全面化發(fā)展,在科技高速發(fā)展的步伐中,同時(shí)對(duì)半導(dǎo)體器件的小型化,品種多樣化,功能全面化的前所未有的挑戰(zhàn),近年來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造產(chǎn)能不斷擴(kuò)張,半導(dǎo)體設(shè)備廠商加速成長(zhǎng)。我們認(rèn)為下游發(fā)展將拉動(dòng)上游本地化配套需求,半導(dǎo)體設(shè)備零部件迎來高增長(zhǎng)階段。

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半導(dǎo)體設(shè)備零部件包含密封圈、EFEM、射頻電源、靜電吸盤、硅電極、真空泵、氣體流量計(jì)、噴淋頭等產(chǎn)品,可分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、光學(xué)類等類別


半導(dǎo)體設(shè)備零部件存在一定技術(shù)壁壘,要求相關(guān)企業(yè)具備精密加工、表面處理等能力,認(rèn)證過程也較為復(fù)雜。尤其是在機(jī)械手、真空規(guī)、部分光學(xué)類零部件等領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)企業(yè)和海外頭部企業(yè)仍然存在顯著的技術(shù)差距。國(guó)內(nèi)企業(yè)在鈑金件、金屬件、腔體等機(jī)械類零部件領(lǐng)域已經(jīng)完成了一定程度的國(guó)產(chǎn)化,相較于一般的機(jī)械設(shè)備零部件,半導(dǎo)體設(shè)備零部件通常有著精度高、批量小、多品種、尺寸特殊、工藝復(fù)雜、要求較高等特點(diǎn),需要兼顧強(qiáng)度、應(yīng)變、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復(fù)合功能要求,對(duì)廠商有著技術(shù)方面的挑戰(zhàn)。


例如中微公司生產(chǎn)一臺(tái)刻蝕機(jī)涉及的過程包括但不限于:

1)需要采購(gòu)EFEM、機(jī)械手等零部件進(jìn)行晶圓的傳遞,EFEM、機(jī)械手通常是以集成度較高的模組形式采購(gòu)自Rorze等公司,而后由中微公司將其組裝為傳輸系統(tǒng);

2)需要采購(gòu)反應(yīng)腔體、噴淋頭、邊緣環(huán)、射頻發(fā)生器、螺絲、螺帽等零部件完成反應(yīng)系統(tǒng)的組裝,這些零部件通常是以集成度較低的零件的形式采購(gòu)自靖江先鋒、MKS等公司;

3)需要采購(gòu)氣體輸送相關(guān)的零部件,這些零部件通常是以系統(tǒng)的形式來自Ultra Clean Technology、Compart Systems等公司。

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通過以上的例子,我們可以看出半導(dǎo)體設(shè)備公司采購(gòu)的零部件種類繁多,既會(huì)采購(gòu)一些集成度較高的模組、系統(tǒng),其后續(xù)只要完成簡(jiǎn)單的安裝過程即可;也會(huì)采購(gòu)一些集成度較低的零件,由自己組裝為更加復(fù)雜的模組乃至系統(tǒng)。這些零部件既包括螺絲、螺帽、芯片、線路、工業(yè)電腦等標(biāo)準(zhǔn)品,也包括腔體、鈑金件等定制品。理論上,Texas Instruments等公司出品的模擬芯片有可能被用于半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn),屬于半導(dǎo)體設(shè)備零部件范疇。但本篇報(bào)告為方便討論,主要聚焦于這樣幾類公司:1)生產(chǎn)的零部件是定制品或偏向于定制品,應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備中,比如華亞智能(主要生產(chǎn)鈑金件)、新萊應(yīng)材(主要生產(chǎn)腔體、閥);2)生產(chǎn)的零部件是標(biāo)準(zhǔn)品或偏向于標(biāo)準(zhǔn)品,既可以應(yīng)用于其他機(jī)械設(shè)備,也可以應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備,但由于應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)產(chǎn)品要求較高,全球只有少數(shù)幾家企業(yè)能夠生產(chǎn)符合要求的產(chǎn)品,比如VAT(主要生產(chǎn)真空閥)、Zeiss(主要生產(chǎn)鏡頭組)。


東莞兆恒機(jī)械長(zhǎng)期為眾多國(guó)內(nèi)外的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)加工過非常多的半導(dǎo)體設(shè)備精密零件,如果你有半導(dǎo)體設(shè)備的零件需要加工,您可以聯(lián)系我們!



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