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基于VCSEL技術(shù)的9.6 kW晶圓加熱系統(tǒng)

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  • 添加日期:2021年12月28日

VCSEL加熱系統(tǒng)的應(yīng)用設(shè)置

通快光電器件部在亞琛的互連技術(shù)中心里,配備了緊湊且安全的激光裝置,可用于各種應(yīng)用測試。該裝置配備了紅外攝像機、光學(xué)攝像機、高溫計、熱電偶和快速線性軸。

加工件和VCSEL加熱模塊的靈活安裝性,可以滿足不同的應(yīng)用需求。

與客戶一起進行可行性測試,可以讓客戶現(xiàn)場體驗大功率VCSEL模塊。

從2.4到9.6 kW的標準模塊均可進行測試。并可滿足特殊模塊需求。

對于接下來要討論的晶圓加熱應(yīng)用,我們建立了一個專用的9.6 kW加熱模塊。

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 2: 激光室配備有冷卻單元、驅(qū)動單元和控制電腦。

VCSEL解決方案應(yīng)用于晶圓加熱

首先,通過光學(xué)模擬以優(yōu)化標準VCSEL發(fā)射器的分布,以實現(xiàn)晶圓的均勻照射(圖4)。分析表明,僅使用24個標準發(fā)射器和一個鏡管(圖3),就可以在晶圓層面上達到完美的均勻性。加熱速率和工作距離可以通過改變發(fā)射器的數(shù)量來控制,從而優(yōu)化系統(tǒng)的性能和成本。

根據(jù)這些模擬結(jié)果,在第二步中,構(gòu)建了一個9.6 kW的晶圓加熱系統(tǒng)(圖 5,不帶鏡管的模塊)。最初的測試是在裸硅晶片上進行的。晶圓加熱器可以擴展到75.2 kW,加熱速率提高8倍以上。

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 3: 帶有特定排列發(fā)射器的晶圓加熱器布局。

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圖 4: 在不同工作距離下使用外反射鏡進行光學(xué)模擬:30/200/450 mm。虛線圓圈代表一個? 300 mm的晶圓。

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 5: 9.6 kw晶圓加熱器的VCSEL加熱系統(tǒng)

04 晶圓加熱的實驗裝置

在亞琛互聯(lián)技術(shù)中心,配備了9.6 kW的晶圓加熱器(圖6和圖7)。

首次測試使用的是? 300 mm黑色涂層不銹鋼仿真晶圓和? 300 mm裸硅晶片;使用導(dǎo)熱系數(shù)低的支架將晶圓安裝在三個點上。所有實驗均在正常氣壓下進行。在加熱過程中,用紅外攝像機記錄溫度和均勻性。相機的發(fā)射率設(shè)置是按照裸硅或黑色鋼涂層來進行校準的。

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 6(上): 激光室介紹: 在VCSEL模塊前面,可以看到長度為 450 mm的六邊形鏡管。

 7(下): 安裝? 300 mm晶圓。晶圓背面涂有黑色涂層,用來實現(xiàn)準確的溫度測量。